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微納電路測量顯微鏡AFM90
產品型號:AFM90
微納電路測量顯微鏡
- 詳細內容
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1、樣品直徑:Φ≤90mm;
2、樣品厚度:≤20mm;
3、樣品平移:XY移動范圍為25mm*25mm,移動精度可達1um;
4、掃描范圍:XY最大掃描范圍20um*20um,Z最大掃描范圍2.5um;
5、掃描角度:0.6Hz~30Hz,掃描角度0~360°,可進行任意角度掃描;
6、掃描速率:支持以1倍速、2倍速、4倍速、8倍速、16倍速;
7、工作模式:接觸模式AFM、動態力模式(DAFM)、F-Z力曲線測量模式、RMS-Z曲線測量模式;
8、減震方式:采用彈簧懸掛式的減震方式,RMS噪音水平<0.05nm;
9、電源:220VAC/50Hz,500W;
10、機器重量:120kg;
11、機器尺寸:D480mmx W420mmxH730mm。
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